株式会社エイコー・エンジニアリング

基本情報

法人番号

1050001006610

法人名称/商号

株式会社エイコー・エンジニアリング

法人名称/商号（カナ）

エイコーエンジニアリング

法人名称/商号（英語）

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所在地

〒3111251
茨城県ひたちなか市山崎５０番地

代表者

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資本金

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従業員数

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営業品目

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事業概要

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設立年月日

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創業年

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データ最終更新日

2018年04月26日

特許情報

• 特許　2015253532

  2015年12月25日

  特許分類

  C23C 14/34
  金属質材料への被覆; 金属質材料による材料への被覆; 化学的表面処理; 金属質材料の拡散処理; 真空蒸着, スパッタリング, イオン注入法, または化学蒸着による被覆一般; 金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般

  テーマコード

  4K029

  発明の名称

  スパッタリング装置

• 特許　2015253532

  2015年12月25日

  特許分類

  C23C 14/34 C
  金属質材料への被覆; 金属質材料による材料への被覆; 化学的表面処理; 金属質材料の拡散処理; 真空蒸着, スパッタリング, イオン注入法, または化学蒸着による被覆一般; 金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般

  テーマコード

  4K029

  発明の名称

  スパッタリング装置

• 特許　2010188996

  2010年08月26日

  特許分類

  C23C 14/50
  金属質材料への被覆; 金属質材料による材料への被覆; 化学的表面処理; 金属質材料の拡散処理; 真空蒸着, スパッタリング, イオン注入法, または化学蒸着による被覆一般; 金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般

  テーマコード

  4K029

  発明の名称

  基板加熱冷却装置

• 特許　2010188996

  2010年08月26日

  特許分類

  C23C 14/50 E
  金属質材料への被覆; 金属質材料による材料への被覆; 化学的表面処理; 金属質材料の拡散処理; 真空蒸着, スパッタリング, イオン注入法, または化学蒸着による被覆一般; 金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般

  テーマコード

  4K029

  発明の名称

  基板加熱冷却装置

• 特許　2010188996

  2010年08月26日

  特許分類

  H01L 21/302 101G
  基本的電気素子

  テーマコード

  4K029

  発明の名称

  基板加熱冷却装置

• 特許　2010188996

  2010年08月26日

  特許分類

  H01L 21/3065
  基本的電気素子

  テーマコード

  4K029

  発明の名称

  基板加熱冷却装置